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光通訊產品

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超厚熱氧化層硅片
所屬類別:

光通訊 >光源

所屬品牌:

KST

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產品簡介

產品特征
超厚的熱氧化層硅片:在平面光波導(AWG)制作過程中,處于最底層的SiO2膜被稱之為Undercladding層,它對AWG的工藝良率有至關重要的影響欧洲杯滚球盘 - 【欧洲杯指定网投】。KST公司生產的超厚熱氧化層硅片,由于具有優異的表面潔凈措施以及穩定的薄膜質量,占據了全球AWG市場的最大份額。


規格參數

項目

規格

膜厚

20um±5%(最大膜厚度)

面內均一性

±0.5%

面間均一性

±0.5%

折射率(@1550nm)

1.4458±0.0001

 

標準品一覽

尺寸

晶圓厚度

熱氧化膜厚度

4inch

525um 1mm

15um、20um

6inch

625um 675um 1mm

15um、20um

8inch

725um

15um、20um

12inch

775um

15um

 

折射率面內分布表面粗度資料

 圖片29.png

圖片28.png


原廠介紹

圖片24.png

 

作為日本首家設計并加工半導體及光通信用硅晶圓以及膜產品的公司,KST株式會社依賴領先的熱氧化技術可以為客戶提供超厚氧化膜的晶圓產品欧洲杯滚球盘 - 【欧洲杯指定网投】,這些產品能夠幫助客戶開發新型光通信及MEMS器件,并能夠極大的提升量產良率。

 

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